Место происхождения:
Китай
Фирменное наименование:
Ruideer
Сертификация:
CE
Номер модели:
630.530.430
Видео
Специализированная вакуумная печь Cvd для лаборатории
Что такое химическое отложение паров?
Химическое отложение паров - это процесс, который включает в себя реакцию летучего прекурсора, который вводится в камеру (обычно под вакуумом).Камера нагревается до температуры реакции, которая заставляет газ-предшественник реагировать или распадаться на желаемое покрытие и связываться с поверхностью материала.Со временем материал покрытия накапливается на поверхности и создает покрытие на всей поверхности обнаженной части.Например, если мы хотим связать кремний с поверхностью, мы можем использовать трихлорозилан прекурсор.Когда трихлоросилан нагревается в камере покрытия, реакция разложения и покрытия может выглядеть следующим образом.
SiHCl3→ Си + КЛ2+ HCl
Машины для нанесения покрытий СВДявляется современным методом вакуумного покрытия, который использует оборудование химического осаждения для осаждения тонкого слоя материала на поверхность подложки.Этот тип поверхностного покрытия предлагает широкий диапазон скоростей покрытия, от 0,1 до 2,0 м/мин. Он также обеспечивает точное и равномерное давление покрытия, с стабильностью давления -± 2 мбар.который обеспечивает стабильную температуру субстрата для оптимальных результатов покрытия. Весь процесс контролируется системой PLC, которая обеспечивает точную толщину покрытия и однородность.
| Модель оборудования | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
| Эффективное пространство ((мм) | Φ400х1250 | Φ400X1600 | Φ500х1250 | Φ500х1600 | Φ600х1200 | Φ600х1600 |
| Сила отопления ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| Количество отопительной зоны | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| Отпечаток оборудования ((мм) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| Температура процесса(°C) | 700-1050 | |||||
| Прекурсоры и процессовые газы | TiCL4, AICL3СХ.3CN,H2, N2Ар, Ч, СО, СО2, HCI, H2S | |||||
| Виды покрытий | TiC,TiN,TiCN,a-AL2О3К-Ай.2О3 | |||||
| Факультативное оборудование |
1. Газоуправляющий отключен (включая устройство эвакуации); 2. Газораспределитель второй ступени (включая трубопровод); 3. АЗС (включая трубопровод) |
|||||
• Стандарты проектирования
Оборудование спроектировано в соответствии с требованиями Бюро по качеству и техническому надзору к сосудам под давлением и квалифицировано после испытаний на давление и отгрузки.Электрическая конструкция и строительство соответствуют национальным стандартам.
• Предварительные испытания и предварительная приемка
Оборудование полностью собрано на нашем заводе, включая все трубопроводы, вакуумные трубопроводы, газопроводы, трубопроводы охлаждающей воды, трубопроводы сжатого воздуха и т.д.Предварительные испытания могут проводиться после установки. На месте работы заказчика трубопроводы, кроме оборудования, предоставляются заказчиком.Главный кабель, соединяющий шкаф питания, предоставляется заказчиком.После установки мы проводим испытания вакуума и положительного давления на все оборудование, а также механические и электрические испытания.
• Разборка и транспортировка
Оборудование будет демонтироваться на несколько больших частей, упаковано стандартным образом и загружено в транспортное средство.
• Установка и ввод в эксплуатацию на объекте клиента
Инженер Redel послепродажного обслуживания возглавит команду для завершения ввода в эксплуатацию, испытания продукта сжигания и другие работы в течение 20 рабочих дней.Заказчик должен подготовиться и предоставить необходимые инструменты, такие как подъемное и подъемное оборудование. и обеспечить поддержку персонала установки (рекомендуется иметь 1 механический персонал и 1 электрический персонал).
• Окончательное принятие
После установки и ввода в эксплуатацию оборудование может быть окончательно принято в соответствии с требованиями технического контракта.
• Обучение
Наши инженеры послепродажного обслуживания обеспечат систематическое и полное обучение на месте, включая эксплуатацию, техническое обслуживание, устранение неполадок и т.д.
• Предоставление технических данных
Для обеспечения безопасной эксплуатации и технического обслуживания оборудования клиентам предоставляются следующие технические данные:
1. Размещение оборудования
2. Руководство пользователя
3Список запасных частей
4Электрические чертежи
5. Руководство по компонентам
Частые вопросы
Вопрос: Вы завод или торговая компания?
A: Мы являемся ведущим производителем высокотемпературных вакуумных печей в Китае с более чем 10-летним опытом.
В: У вас есть услуги по настройке или OEM?
A:Да, у нас есть мощная команда исследований и разработок и высокотехнологичное оборудование. Поэтому мы можем не только поставлять обычную модель, но и настраиваемую печь в качестве замены наших клиентов.
Вопрос: Каково ваше преимущество?
А:
Быстрый ответ на ваш запрос
l Высокий контроль качества
L Стабильная цепочка поставок
I Своевременная доставка
Отличное послепродажное обслуживание
Отправьте запрос непосредственно нам
