Печь для эпитаксического роста с силиконовым карбидом (CVD SIC) HTCVD

Это оборудование используется для покрытия карбидом кремния материалов на основе углерода/керамики,особенно осаждение карбида кремния на поверхности полупроводникового эпитаксиального восприимчивого элемента и резьбового кольца.

Уровень нанесения покрытий является очень важным показателем для покупателей в дальнейшем производстве, который напрямую связан с производственными мощностями оборудования.Наше оборудование может достичь скорости осаждения 50 микронов в час, а также могут быть оснащены быстрым охлаждением, что значительно сокращает время производства.

Технические характеристики

1Использование нескольких зон контроля температуры, большая однородность температуры;

2Специально разработанная камера отложения с хорошим герметическим эффектом и высокой эффективностью против загрязнения;

3. Использование нескольких каналов осаждения с однородным потоком газа, без осаждения мертвого угла и идеальной поверхности осаждения;

4Он имеет обработку смолы, твердой пыли и органических газов во время процесса осаждения.

• Стандарты проектирования

Оборудование спроектировано в соответствии с требованиями Бюро по качеству и техническому надзору к сосудам под давлением и квалифицировано после испытаний на давление и отгрузки.Электрическая конструкция и строительство соответствуют национальным стандартам.

• Предварительные испытания и предварительная приемка

Оборудование полностью собрано на нашем заводе, включая все трубопроводы, вакуумные трубопроводы, газопроводы, трубопроводы охлаждающей воды, трубопроводы сжатого воздуха и т.д.Предварительные испытания могут проводиться после установки. На месте работы заказчика трубопроводы, кроме оборудования, предоставляются заказчиком.Главный кабель, соединяющий шкаф питания, предоставляется заказчиком.После установки мы проводим испытания вакуума и положительного давления на все оборудование, а также механические и электрические испытания.

• Разборка и транспортировка

Оборудование будет демонтироваться на несколько больших частей, упаковано стандартным образом и загружено в транспортное средство.

• Установка и ввод в эксплуатацию на объекте клиента

Инженер Redel послепродажного обслуживания возглавит команду для завершения ввода в эксплуатацию, испытания продукта сжигания и другие работы в течение 20 рабочих дней.Заказчик должен подготовиться и предоставить необходимые инструменты, такие как подъемное и подъемное оборудование. и обеспечить поддержку персонала установки (рекомендуется иметь 1 механический персонал и 1 электрический персонал).

• Окончательное принятие
После установки и ввода в эксплуатацию оборудование может быть окончательно принято в соответствии с требованиями технического контракта.

• Обучение
Наши инженеры послепродажного обслуживания обеспечат систематическое и полное обучение на месте, включая эксплуатацию, техническое обслуживание, устранение неполадок и т.д.

• Предоставление технических данных

Для обеспечения безопасной эксплуатации и технического обслуживания оборудования клиентам предоставляются следующие технические данные:

1. Размещение оборудования
2. Руководство пользователя
3Список запасных частей
4Электрические чертежи
5. Руководство по компонентам

Частые вопросы

Вы завод или торговая компания?

Вопрос: Вы завод или торговая компания?
A: Мы являемся ведущим производителем высокотемпературных вакуумных печей в Китае с более чем 10-летним опытом.

У вас есть услуги по настройке или OEM?

В: У вас есть услуги по настройке или OEM?
A:Да, у нас есть мощная команда исследований и разработок и высокотехнологичное оборудование. Поэтому мы можем не только поставлять обычную модель, но и настраиваемую печь в качестве замены наших клиентов.

Какое у тебя преимущество?

Вопрос: Каково ваше преимущество?
А:

Быстрый ответ на ваш запрос

l Высокий контроль качества

L Стабильная цепочка поставок

I Своевременная доставка

Отличное послепродажное обслуживание