Печь для эпитаксического роста с силиконовым карбидом (CVD SIC) HTCVD

Это оборудование используется для покрытия карбидом кремния материалов на основе углерода/керамики,особенно осаждение карбида кремния на поверхности полупроводникового эпитаксиального восприимчивого элемента и резьбового кольца.

Эпитаксиальная основа, высокочистый графитовый диск, с круглой канавкой, чтобы закрепить подложку.После помещения их в печь на поверхности субстрата вырастет слой кристаллической пленки, который является эпитаксиальным слоем.Процессы лифографии и имплантации ионов проводятся на эпитаксиальном слое.

Эпитаксиальная основа из графита, очевидно, не может отвечать сверхвысоким требованиям чистоты в полупроводниковом процессе.По этой причине нам нужно использовать химическое отложение паров на базе, чтобы обернуть слой плотного карбида кремния.

Факультативная конфигурация

1Дверь печи: винтовой/гидравлический/ручной тип подъема; подвижное/параллельное открытие (дверь печи больших размеров); ручное застегивание/автозамещение
2. Огневая емкость: полностью из углеродной стали/внутренний слой из нержавеющей стали/все из нержавеющей стали
3Горячая зона печи: мягкое углеродное войлоко/мягкое графитное войлоко/жесткое композитное войлоко/ХФУ
4Нагревательный элемент и муфла: изостатический графит/высокая чистота, прочность и плотность графита/мелкий графит
5. Система процессуального газа: объемно-массовый потокомер;
6Термопары: типа K/N/C/S

• Стандарты проектирования

Оборудование спроектировано в соответствии с требованиями Бюро по качеству и техническому надзору к сосудам под давлением и квалифицировано после испытаний на давление и отгрузки.Электрическая конструкция и строительство соответствуют национальным стандартам.

• Предварительные испытания и предварительная приемка

Оборудование полностью собрано на нашем заводе, включая все трубопроводы, вакуумные трубопроводы, газопроводы, трубопроводы охлаждающей воды, трубопроводы сжатого воздуха и т.д.Предварительные испытания могут проводиться после установки. На месте работы заказчика трубопроводы, кроме оборудования, предоставляются заказчиком.Главный кабель, соединяющий шкаф питания, предоставляется заказчиком.После установки мы проводим испытания вакуума и положительного давления на все оборудование, а также механические и электрические испытания.

• Разборка и транспортировка

Оборудование будет демонтироваться на несколько больших частей, упаковано стандартным образом и загружено в транспортное средство.

• Установка и ввод в эксплуатацию на объекте клиента

Инженер Redel послепродажного обслуживания возглавит команду для завершения ввода в эксплуатацию, испытания продукта сжигания и другие работы в течение 20 рабочих дней.Заказчик должен подготовиться и предоставить необходимые инструменты, такие как подъемное и подъемное оборудование. и обеспечить поддержку персонала установки (рекомендуется иметь 1 механический персонал и 1 электрический персонал).

• Окончательное принятие
После установки и ввода в эксплуатацию оборудование может быть окончательно принято в соответствии с требованиями технического контракта.

• Обучение
Наши инженеры послепродажного обслуживания обеспечат систематическое и полное обучение на месте, включая эксплуатацию, техническое обслуживание, устранение неполадок и т.д.

• Предоставление технических данных

Для обеспечения безопасной эксплуатации и технического обслуживания оборудования клиентам предоставляются следующие технические данные:

1. Размещение оборудования
2. Руководство пользователя
3Список запасных частей
4Электрические чертежи
5. Руководство по компонентам

Частые вопросы

Вы завод или торговая компания?

Вопрос: Вы завод или торговая компания?
A: Мы являемся ведущим производителем высокотемпературных вакуумных печей в Китае с более чем 10-летним опытом.

У вас есть услуги по настройке или OEM?

В: У вас есть услуги по настройке или OEM?
A:Да, у нас есть мощная команда исследований и разработок и высокотехнологичное оборудование. Поэтому мы можем не только поставлять обычную модель, но и настраиваемую печь в качестве замены наших клиентов.

Какое у тебя преимущество?

Вопрос: Каково ваше преимущество?
А:

Быстрый ответ на ваш запрос

l Высокий контроль качества

L Стабильная цепочка поставок

I Своевременная доставка

Отличное послепродажное обслуживание