Печь для нанесения покрытия КВД на карбиде кремния для графитовых подшипников или резных колец

Печь для нанесения покрытия КВД на карбиде кремния для графитовых подшипников или резных колец

Это оборудование используется для осаждения карбида кремния на поверхности материалов на основе углерода/керамики, особенно для полупроводниковых восприимчивых элементов и резьбовых колец.

Графитный восприимчивый, высокочистый графитный диск, с круглой канавкой на нем для фиксации подложки пластины. После помещения их в печь,на поверхности субстрата вырастет слой кристаллической пленкиЭто эпитаксиальный слой.

Процессы лифографии и имплантации ионов проводятся на эпитаксиальном слое.Эпитаксиальная основа из графита, очевидно, не может соответствовать сверхвысоким требованиям чистоты в полупроводниковом процессе.

По этой причине нам нужно использовать химическое отложение паров на базе, чтобы обернуть слой плотного карбида кремния.

• Стандарты проектирования

Оборудование спроектировано в соответствии с требованиями Бюро по качеству и техническому надзору к сосудам под давлением и квалифицировано после испытаний на давление и отгрузки.Электрическая конструкция и строительство соответствуют национальным стандартам.

• Предварительные испытания и предварительная приемка

Оборудование полностью собрано на нашей фабрике, включая все трубопроводы, вакуумные трубопроводы, газопроводы, трубопроводы охлаждающей воды, трубопроводы сжатого воздуха и т.д.Предварительные испытания могут проводиться после установки. На месте работы заказчика трубопроводы, кроме оборудования, предоставляются заказчиком.Главный кабель, соединяющий шкаф питания, предоставляется заказчиком.После установки мы проводим испытания вакуума и положительного давления на все оборудование, а также механические и электрические испытания.

• Разборка и транспортировка

Оборудование будет разобрано на несколько больших частей, упаковано в стандартном порядке и загружено в транспортное средство.

• Установка и ввод в эксплуатацию на объекте клиента

Инженер Redel послепродажного обслуживания возглавит команду для завершения ввода в эксплуатацию, испытания продукта сжигания и другие работы в течение 20 рабочих дней.Заказчик должен подготовиться и предоставить необходимые инструменты, такие как подъемное и подъемное оборудование. и обеспечить поддержку персонала установки (рекомендуется иметь 1 механический персонал и 1 электрический персонал).

• Окончательное принятие

После установки и ввода в эксплуатацию оборудование может быть окончательно принято в соответствии с требованиями технического контракта.

• Обучение

Наши инженеры послепродажного обслуживания обеспечат систематическое и полное обучение на месте, включая эксплуатацию, техническое обслуживание, устранение неполадок и т.д.

• Предоставление технических данных

Для обеспечения безопасной эксплуатации и технического обслуживания оборудования клиентам предоставляются следующие технические данные:

1. Размещение оборудования

2. Руководство пользователя

3Список запасных частей

4Электрические чертежи

5. Руководство по компонентам